Эволюция технологии и материалов тонкопленочных полевых транзисторов


В статье рассматриваются основные этапы развития технологии тонкопленочных полевых транзисторов, начиная с первого патента Лилиенфельда, зарегистрированного в 1933г., и до современных экспериментальных и промышленных приборов. Представлены наиболее значимые с точки зрения тонкопленочной электроники разработки на полупроводниковых солях (CdS и др.), на элементарных полупроводниках (кремний) и на оксидах металлов (ZnO, SnO2 и др.). В качестве перспективной разработки выделено исследование возможностей создания прозрачных тонкопленочных транзисторов