|
Мощные СВЧ приборы на основе карбида кремния
В статье дан обзор ключевых конструктивно-технологических особенностей приборов на основе карбида кремния. Приведены основные технологические особенности создания приборов на основе карбида кремния в условиях промышленного производства
