Электрофизические свойства пленок диоксида олова, изготовленных методом химического осаждения из паровой фазы


Аннотация. Статья посвящена изготовлению пленок диоксида олова методом химического осаждения из паровой фазы (ХОП-метод) на подложки из стекла и исследованию их электрофизических свойств в зависимости от температуры осаждения.

Ключевые слова: солнечные элементы, металлооксидные полупроводники, диоксида олова, химическое осаждение из паровой фазы, сопротивление, подвижность, концентрация, прозрачность.

ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF TIN DIOXIDE THIN FILMS FABRICATED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
T.V. Svistova

Abstrakt. The article is devoted to fabrication of tin dioxide thin films by chemical deposition from the vapour phase (CVD-method) on the glass substrate and to study their electrophysical properties depending on the deposition temperature.
Keywords: solar cells; tin dioxide; chemical vapour deposition; metaloxide semiconductors; resistance; mobility; concentration; transparency.