Микроэлектронный датчик газов


Аннотация. Статья посвящена разработке технологии изготовления микроэлектронного датчика газов с чувствительным элементом на основе диоксида олова и исследованию его параметров и характеристик.

Ключевые слова: газовый датчик, диоксид олова, статические характеристики, динамические характеристики, газовая чувствительность.

MICROELECTRONIC GAS SENSOR
S. I. Rembeza, T. V. Svistova, V.A. Buslov

Abstract. The article is devoted to the development of manufacturing technology of microelectronic gas sensor with a sensitive element on the basis of tin dioxide and to study of its parameters and characteristics.
Keywords: gas sensor, tin dioxide, static characteristics, dynamic characteristics, gas sensitivity.