|
Микроэлектромеханические системы на базе бесконтактных дисковых двигателей
Рассмотрены принцип работы электромеханической части, структура системы управления и технология производства мехатронных модулей на базе микроэлектромеханических систем, схемы микрорельефа плоских обмоток, полученные на основе технологии микролитографии.
